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NTW260V-全自動晶圓真空覆膜機
| 4”-8”晶圓適用 可處理薄晶圓 晶圓料籃裝卸料 貝努利晶圓搬運技術 真空覆膜技術 可選高溫覆膜 雙層隔離紙收卷能力 藍膜、紫外線膠膜、光刻膜、背封膜等可選 晶圓智能料籃內測繪 非接觸晶圓校正 工控機+Windows系統 SECS/GEM 或簡易聯網能力 |
| 4”-8”晶圓適用 可處理薄晶圓 晶圓料籃裝卸料 貝努利晶圓搬運技術 真空覆膜技術 可選高溫覆膜 雙層隔離紙收卷能力 藍膜、紫外線膠膜、光刻膜、背封膜等可選 晶圓智能料籃內測繪 非接觸晶圓校正 工控機+Windows系統 SECS/GEM 或簡易聯網能力 |
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